以下部分引用 AI 总结，现阶段 AI 仍然有幻觉。请以内容的原文为准。

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Zeiss SMT

5 atoms · 跨 1 天 · 首见 2026-04-21 · 最近 2026-04-21

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2026-04-21 · 全球已安装光刻系统数量
6000 optical systems (for ASML) are installed WW
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2026-04-21 · EUV系统数量
300 are EUV
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2026-04-21 · 光刻系统在运率
>95% still in operation, some as old as 25 years
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value: qty=95% · date=report
2026-04-21 · 镜头材料回收率
they recycle up to 65% of the material
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2026-04-21 · 现场服务运营次数
~1000 field ops/yr to maintain the install base
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value: qty=1000 · date=annual