브이엠 (VMS) APES A (ALE 장비)

5 atoms · 跨 1 天 · 首见 2026-04-22 · 最近 2026-04-22

三色: 🟦 fact 3 · 🟥 take 2 · stance ▲2/▼0/◆3

来源: X 5

时态: fresh:3 · aging:2

标签: 好信源:3 · 好观点:1 · 好思考:1

叙事 (narrative) (2)

• 2026-04-22 [老化中] · 10나노 이하 초미세 공정 겨냥
  10나노 이하 초미세 공정을 겨냥한 장비다.
  tags: 好思考 · → daily
• 2026-04-22 [老化中] · 기존 플라즈마 식각 장비 한계를 보완하는 제품
  기존 플라즈마 식각 장비 한계를 보완하는 제품이다.
  tags: 好观点 · → daily

预测 (forecast) (1)

• 2026-04-22 · 장비 개발 완료 시점은 2030년
  장비 개발 완료 시점은 2030년으로 보고 있다.
  tags: 好信源 · → daily
  value: date=2030

事实 (fact) (2)

• 2026-04-22 · 올해 베타 버전 챔버 제작 및 평가
  원자층 식각(ALE) 장비 APES A는 올해 베타 버전 챔버를 제작해 평가한다.
  tags: 好信源 · → daily
• 2026-04-22 · 고효율 원격 플라즈마와 열 에너지 방식 결합한 하이브리드 기술 적용
  고효율 원격 플라즈마와 열 에너지 방식을 결합한 하이브리드 기술을 적용했다.
  tags: 好信源 · → daily

时间轴 (近 20)

• 2026-04-22 · fact · 올해 베타 버전 챔버 제작 및 평가 · → daily
• 2026-04-22 · narrative · 기존 플라즈마 식각 장비 한계를 보완하는 제품 · → daily
• 2026-04-22 · fact · 고효율 원격 플라즈마와 열 에너지 방식 결합한 하이브리드 기술 적용 · → daily
• 2026-04-22 · narrative · 10나노 이하 초미세 공정 겨냥 · → daily
• 2026-04-22 · forecast · 장비 개발 완료 시점은 2030년 · → daily

← 实体目录 · 系统日志